Residual Gas Analysis Systems
Residual gas analysis systems (RGA) use mass spectrometry to analyze the composition of gases in vacuum environments and detect any potential contamination. This ensures optimal product quality and process safety. RGA is used in applications like vacuum furnaces or vacuum coating. Our portfolio includes both turnkey and compact solutions.
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제품 범위
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잔류가스 분석(RGA)에 대한 심층적인 지식을 바탕으로 한 순도 테스트
기술 요구 사항이 계속 증가하면서 빠르게 확장되는 시장에서는 분자 오염이 제품의 기능에 영향을 미치기 때문에 최고 수준의 청결도가 점점 더 강조되고 있습니다. 전문적인 품질 보증의 핵심은 고진공 조건에서 질량 분석기를 사용하여 가스 방출 속도를 정확하게 결정하는 것입니다. 우리는 잔류 가스 분석을 위한 광범위한 분석 장치 포트폴리오를 통해 수년간 고객을 지원해 왔습니다 . 테스트 요구 사항도 시간이 지남에 따라 변경됩니다. OmniGrade 및 HiCube Neo RGA를 통해 우리는 더 높은 수준의 가치 창출을 제공하고 고객에게 더 많은 혜택을 제공하기 위해 잔류 가스 분석용 제품 포트폴리오를 확장하고 있습니다.
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OmniGrade
Modular system for residual gas analysis
Our OmniGrade is the customized complete solution for cleanliness verification – individually configured and optimized for you. Every test task is different. Our team of experts accesses the full range of Pfeiffer products and uses them to configure the system that best suits your requirements. Not only are the individual components such as quadrupole mass spectrometers, vacuum pumps, chambers, and other individual components selected for your OmniGrade, but the total operating costs and delivery times of the tailor-made, turnkey solution are also taken into account. With our expertise, we can help you achieve test results with the precision you need while minimizing unnecessary effort.
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측정할 수 있는 정밀도
4중 극자 질량 분석기(PrismaPro 또는 HiQuad Neo) 의 선택 과 챔버 수 결정은 달성 가능한 검출 한계에 상당한 영향을 미칩니다. 표준 시스템에는 두 개의 챔버가 있는데, 하나는 테스트 표본이 놓여 있고 다른 하나는 분광계가 위치합니다. 필요한 경우 이 구조는 세 번째 챔버인 잠금 챔버로 보완될 수 있습니다. 이는 환경으로 인한 측정 챔버의 오염을 방지하고 표면적을 크게 줄입니다. 시스템을 베이크 아웃함으로써 최적의 상태로 조절되어 측정 성능이 더욱 향상됩니다.
개별 구성 요소
PrismaPro 또는 HiQuad Neo 를 사용한 질량 분석기
건식 배압 펌프
진공 챔버 및 구성 요소
더 알고 싶나요?
저희에게 연락 주시기 바랍니다 , 우리는 귀하의 요구 사항을 기대합니다!
OmniGrade 혜택
모듈형 시스템을 사용하여 요구 사항에 맞게 실행
낮은 검출 한계 가능
완전 자동화된 측정 프로세스
전세계 서비스 네트워크
GSA 07 1221 및 GSA 07 2221에 따른 테스트
애플리케이션
초고진공(UHV) 응용 분야
HiCube Neo RGA
Compact and versatile solution for residual gas analysis
The HiCube Neo RGA system is a compact solution for residual gas analysis. It is easy to use, offering high accuracy as well as sensitivity for precise measurements. The system integrates a HiCube Neo turbomolecular vacuum pump unit and a PrismaPro mass spectrometer, working together to ensure reliable gas analysis. The turbopump generates the high vacuum levels necessary for mass spectrometry, while the PrismaPro is tailored to detect the specific mass range of molecules relevant to your application. This enables accurate identification and analysis of residual gases. The HiCube Neo RGA is an ideal fit for applications ranging from coating to vacuum furnaces.
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Built-in safety for peace of mind
The HiCube Neo RGA can operate in the pressure range from atmosphere to high vacuum. It is equipped with an integrated shut-off valve for precise inlet pressure adjustment. For additional protection, the system features a DigiLine full-range transmitter, which safeguards the mass spectrometer by continuously monitoring the total pressure. If the pressure exceeds safe levels, the transmitter automatically triggers the shutdown of the filament inside the mass spectrometer, preventing damage. This mechanism ensures the system is protected from operating errors and eliminates the need for costly filament replacements, saving on long-term maintenance costs.
Flexible connectivity for all your needs
The HiCube Neo RGA offers both digital as well as analog inputs and outputs, enabling the collection of external data such as pressure or gas flow. This data can then be transferred to external control units, allowing for comprehensive process monitoring.
The integrated HiCube Neo can be intuitively controlled via its touch screen, which not only displays measured values but also shows signals from connected external components like vacuum gauges. This provides full control over your analysis. The PV MassSpec software further enables easy and quick access to your data.
The HiCube Neo RGA can be customized to suit your specific processes. For example, the recipient – the chamber in which vacuum is generated – can be equipped with a heater. This evaporates possible residual gases that may have adsorbed onto the chamber walls. During operation, these trapped gases can gradually release and interfere with measurements, creating an unwanted background signal. By heating the chamber, these residual gases are desorbed and evacuated, reducing contamination and improving the accuracy of your analysis. The system can further be equipped with additional manual inlet valves for greater flexibility in sample handling. Additionally, when mounted on a trolley, the HiCube Neo RGA becomes a mobile solution, allowing for easy transport and use in different locations.
Your HiCube Neo RGA benefits
Cost-optimized solution for gas analysis
User-friendly software
Compact design
Easy operation with touch display
Completely customizable
Turn-key solution (pre-assembled)
맞춤형 시스템이라고 하면
맞춤형 시스템 분야에서는 잔류 가스 분석 시스템 외에도 더 많은 것을 제공할 수 있습니다. 수년간의 경험을 통해 얻은 반도체, 제약, 야금 및 신흥 시장의 요구 사항에 대한 당사의 지식은 귀하가 업계에서 자신의 입지를 확고히 하는 데 도움이 되는 최첨단 시스템 개발에 활용됩니다. 예를 들어, 우리는 모든 단계에서 오염물질을 식별 및 최소화하고 생산 공정을 최적화하는 것을 목표로 하는 오염 관리 시스템을 개발했습니다 . 향상된 품질과 단축된 사이클 시간을 통해 더 높은 수율을 달성합니다.
누출 테스트 작업을 위해 부분적으로 조립된 모듈
자급자족형 장치 외에도 당사는 귀하의 시스템에 통합할 수 있는 모듈형 솔루션도 제공합니다. 여기에는 무엇보다도 연속 생산을 위해 생산 라인에 통합할 수 있는 누출 테스트 모듈 (줄여서 LTM) 이 포함됩니다. 사전 시리즈 생산의 경우 수동 검증을 위한 개별 테스트대로도 사용할 수 있습니다. 고객별로 구성 가능한 모듈은 전체 범위의 테스트 방법 및 매개변수를 포괄할 수 있으며 부분적으로 당사에서 조립합니다. 기계 및 소프트웨어 통합 분야의 경험을 바탕으로 우리는 고객의 솔루션 구현을 지원합니다.
