4중극자 질량 분석기를 사용한 가스 및 잔류 가스 분석

모든 애플리케이션에 적합

사중극자 질량 분석기(QMS)에는 다양한 구성과 주변 장치가 있으며 요구 사항에 따라 적용 영역에 맞게 특별히 선택할 수 있습니다.

기본적으로 부분 압력은 질량 분석계(간단히 RGA라고도 함) 를 사용하여 측정 하고, 전체 압력을 측정하려면 진공 측정 튜브를 사용합니다. 가스 측정만 가능합니다. 여기에는 이전에 증발된 고체 또는 액체 물질 분석도 포함됩니다.

장치 선택을 위한 중요한 결정 기준은 다음과 같습니다.

• 압력 범위 및 관련 설계

• 분석 성능(여기에는 검출할 질량, 분해능, 검출 한계, 측정 속도가 포함됩니다)

압력 범위가 설계에 미치는 영향

검사할 가스는 진공 챔버에서 펌핑하여 낮은 압력으로 감소되고 전자 충격에 의해 이온화됩니다. 이렇게 생성된 이온은 질량 대 전하 비율에 따라 매스 필터에서 분리됩니다. 고진공은 이러한 공정의 필수 요구 사항입니다. 따라서 가스를 분석할 압력 범위에 따라 일반적으로 설계가 결정됩니다.

분석적 성과

가능한 모든 응용 분야를 포괄하는 범용 질량 분석기는 없습니다 . 압력에 관계없이 초기 조건과 분석 목표는 다양합니다. 따라서 장비를 선택하기 전에 어떤 분석 작업을 해결해야 하는지 명확히 하고 해당 장비를 통해 달성하려는 목표가 무엇인지 정의하는 것이 합리적입니다. 고려해야 할 요구 사항에는 주로 다음 기준이 포함됩니다.

• 측정 속도

• 결단력

• 검출할 질량

• 검출 한계

분석 성능에 대한 개별 구성요소의 영향을 살펴보겠습니다. 일반 규칙은 질량 분석에도 적용됩니다. 정밀도는 가격에 비례합니다. 일부 사용 사례에는 특정 조치나 특별한 주의가 필요한 중요한 요소를 고려해야 합니다.

세부기준

감지기

작동 압력에 따라 다양한 감지기가 사용됩니다.

패러데이 /C-SEM 검출기(M) 만큼 낮을 필요는 없습니다 . 그러나 이는 검출 한계에 직접적인 영향을 미칩니다. 정확한 숫자는 특히 체류 시간과 사용된 이온 소스에 따라 달라지며, 이에 대한 정보는 당사 브로셔에서 확인할 수 있습니다.

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