Pfeiffer 진공 밸브
Pfeiffer는 러프 진공에서 초고진공까지 밸브 제공. 차단 밸브를 사용하면 다양한 압력 범위를 분리할 수 있으며, 압력 제어 밸브를 사용하면 정의된 가스 흐름을 진공 시스템으로 보낼 수 있습니다.
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진공 안전 차단, 투여 및 제어
기본 진공 시스템은 진공 펌프, 진공 챔버 및 진공 밸브의 세 가지 필수 구성 요소로 구성됩니다. 진공 밸브 선택은 진공 시스템 성능 최적화의 핵심이며 다양한 기준의 영향을 받습니다. 진공 밸브는 두 가지 범주로 나눌 수 있습니다.
진공 차단 밸브
당사의 차단 밸브 선택에는 앵글 및 인라인 밸브, 게이트 밸브, 차단 진자 밸브 및 볼 밸브를 포함한 다양한 종류가 포함됩니다. 이 밸브는 수동, 공압 또는 전기적으로 작동됩니다. 공압 밸브에는 시스템에 열림 및 닫힘 정보를 제공하는 위치 표시기를 포함하는 옵션이 포함되어 있습니다. 또한 밸브 기능을 제어하기 위해 공압 공기 공급 장치를 열고 닫는 데 사용되는 솔레노이드도 포함될 수 있습니다. 전기 앵글 밸브는 자동화된 작동의 편의성을 추가하여 정밀한 제어를 제공하므로 높은 신뢰성과 최소한의 수동 개입이 요구되는 시스템에 적합합니다. 당사의 진공 밸브는 다양한 요구 사항을 충족하기 위해 알루미늄 또는 스테인리스강으로 제공됩니다.
앵글 밸브는 진공 시스템의 전면 라인을 통과하는 가스 흐름을 격리하는 응용 분야에 자주 사용됩니다. 전기 밸브는 공압 공기 라인이 필요하지 않은 낮은 전력 소비와 안정적인 솔루션을 제공합니다. 반면, 공압 밸브는 강력한 성능을 제공하며 공기 압력 제어가 선호되는 산업 응용 분야에 매우 적합합니다.
대조적으로, 게이트 및 진자 밸브는 진공 챔버에서 진공 펌프를 분리하는 데 종종 사용됩니다. 게이트 밸브는 DN 100보다 큰 진공 라인이 있는 시스템에도 사용할 수 있습니다.
당사의 진공 밸브는 반도체, 산업, 분석 및 R&D 응용 분야의 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
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소책자: Isolation 진공 밸브
압력 조절 밸브
압력 제어 밸브 범주에는 버터플라이 밸브 와 진자 밸브가 포함됩니다.
완전한 압력 제어 시스템은 밸브, 컨트롤러 및 압력 게이지의 세 가지 필수 구성 요소로 구성됩니다. 압력 제어 밸브의 주요 기능은 진공 챔버 내부의 압력을 조절하고 진공 시스템 내의 가스 흐름을 조절하는 것입니다. 반도체, 코팅 분야 등 정밀한 공정 제어가 필요한 용도에 적합한 제품입니다.
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올바른 진공 밸브 선택의 중요한 요소
귀하의 응용 분야에 적합한 진공 밸브를 찾는 기준
밸브의 기능적 목적: 원하는 용도가 밸브 선택에 큰 영향을 미칩니다. 요구 사항은 밸브가 주로 진공 라인을 열고 닫는 것인지 아니면 압력을 조절하는 것인지에 따라 달라집니다.
설치 공간 및 시스템 호환성: 사용 가능한 설치 공간의 물리적 치수와 펌프 및 챔버의 플랜지는 적절한 밸브 크기 선택에 직접적인 영향을 미칩니다.
가스 영향: 밸브를 통해 흐르는 가스의 구성은 재료 선택에 큰 영향을 미칩니다. 올바른 재료 선택은 밸브의 내구성과 신뢰성을 보장합니다.
온도 조건: 밸브 본체와 씰에 적합한 재료를 선택하여 오래 지속되는 기능을 보장하려면 예상 온도에 대한 지식이 필수적입니다.
다양한 압력 범위의 진공 밸브 선택 및 적용
진공 밸브는 모든 진공 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 어떤 밸브를 선택할지는 씰링 기술에 따라 결정될 수 있습니다. 1x10-8 hPa의 고진공 압력을 위해 Pfeiffer는 엘라스토머 씰 및 ISO-KF/ISO-K 플랜지 포함 다양한 밸브 선택을 제공합니다. 초고진공 응용 분야의 경우 젖은 부분과 CF 플랜지에 금속 씰이 있는 밸브를 선택하십시오. 추가 옵션에는 모든 씰이 금속인 전체 금속 밸브가 포함됩니다.
밸브 작동
밸브는 다양한 방식으로 활성화됩니다. 차단 밸브는 일반적으로 수동 또는 공압으로 작동되는 반면, 압력 제어 밸브는 전기 모터를 통해 작동합니다.
공압식 밸브는 압축 공기를 사용하여 밸브를 작동시킵니다. 밸브의 공기 실린더로 흐르는 필수 압축 공기 압력은 밸브를 이동하는 데 4~8bar 사이인 경우가 많습니다. 일반적으로 더 작은 앵글 밸브인 일부 밸브는 "단동식"입니다. 즉, 압축 공기가 밸브를 제 위치로 이동시키는 데 사용됩니다. 압축 공기가 손실되면 스프링을 사용하여 밸브를 기본 위치로 이동합니다. 일반적으로 밸브는 "상시 닫힘" 상태로 작동기가 열림 위치로 이동하고 스프링이 밸브를 닫습니다. 반면에 더 큰 밸브는 일반적으로 "복동식"입니다. 이 경우 압축 공기는 밸브를 열고 닫는 데 사용됩니다. 압축 공기의 흐름을 제어하기 위해 솔레노이드를 사용하여 밸브 공기 실린더로 공기를 방출합니다. 전자기 밸브에는 이 솔레노이드가 밸브에 내장되어 있습니다. 대부분의 진공 시스템에는 압축 공기 라인을 제어하기 위해 24V DC 구동 솔레노이드가 필요합니다.
밸브는 밸브가 열려 있는지 닫혀 있는지를 나타내는 위치 표시기를 포함하는 옵션도 사용할 수 있습니다. 수동 밸브의 경우 위치는 시각적 표시기로 확인할 수 있습니다. 공압 밸브의 위치 표시기는 밸브 위치에 대한 피드백을 진공 시스템에 직접 보냅니다.
