Residual Gas Analysis Systems
Residual gas analysis systems (RGA) use mass spectrometry to analyze the composition of gases in vacuum environments and detect any potential contamination. This ensures optimal product quality and process safety. RGA is used in applications like vacuum furnaces or vacuum coating. Our portfolio includes both turnkey and compact solutions.
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Produktprogramm
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Reinheitsprüfung mit fundiertem Wissen zur Restgasanalyse (RGA)
Schnell expandierende Märkte mit immer höheren technischen Anforderungen legen zunehmend Wert auf höchste Sauberkeit, da molekulare Kontaminationen die Funktionalität ihrer Produkte beeinträchtigen. Der Schlüssel zur fachgerechten Qualitätssicherung liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasraten mittels Massenspektrometrie unter Hochvakuumbedingungen.
Seit vielen Jahren unterstützen wir unsere Kunden durch ein umfangreiches Portfolio an Analysegeräten zur Restgasanalyse. Über die Zeit ändern sich auch die Prüfanforderungen. Mit unserem OmniGrade und HiCube Neo RGA, erweitern wir unser Portfolio an Produkten zur Restgasanalyse, um eine höhere Wertschöpfungsstufe anzubieten und damit den Nutzen für unsere Kunden zu steigern.
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OmniGrade
Modular system for residual gas analysis
Our OmniGrade is the customized complete solution for cleanliness verification – individually configured and optimized for you. Every test task is different. Our team of experts accesses the full range of Pfeiffer products and uses them to configure the system that best suits your requirements. Not only are the individual components such as quadrupole mass spectrometers, vacuum pumps, chambers, and other individual components selected for your OmniGrade, but the total operating costs and delivery times of the tailor-made, turnkey solution are also taken into account. With our expertise, we can help you achieve test results with the precision you need while minimizing unnecessary effort.
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Präzision nach Maß
Einen wesentlichen Einfluss auf die erreichbare Nachweisgrenze haben vor allem die Auswahl des Quadrupol-Massenspektrometers (PrismaPro oder HiQuad Neo) und die Festlegung der Kammeranzahl. Im Standardsystem gibt es zwei Kammern, eine in der der Prüfling liegt und eine, in der sich das Spektrometer befindet. Bei Bedarf wird dieser Aufbau um eine dritte Kammer, die Schleusenkammer, ergänzt. Hierdurch wird eine Kontamination der Messkammer aus der Umgebung vermieden und der Untergrund deutlich verringert. Durch Ausheizen des Systems wird dieses optimal konditioniert, was die Messfähigkeit weiter erhöht.
Die Einzelkomponenten
Massenspektrometrie mit PrismaPro oder HiQuad Neo
Trockene Vorvakuumpumpen
Sie wollen noch mehr wissen?
Kontaktieren Sie uns gerne, wir freuen uns auf Ihre Anforderungen!
Ihre OmniGrade-Vorteile
Bedarfsgerechte Ausführung durch Baukastensystem
Niedrige Nachweisgrenzen möglich
Vollautomatisierter Messprozess
Weltweites Servicenetzwerk
Prüfung gemäß GSA 07 1221 & GSA 07 2221
Anwendungen
EUV-Lithographie in der Halbleiterfertigung
Anwendungen im Ultrahochvakuum (UHV)
HiCube Neo RGA
Compact and versatile solution for residual gas analysis
The HiCube Neo RGA system is a compact solution for residual gas analysis. It is easy to use, offering high accuracy as well as sensitivity for precise measurements. The system integrates a HiCube Neo turbomolecular vacuum pump unit and a PrismaPro mass spectrometer, working together to ensure reliable gas analysis. The turbopump generates the high vacuum levels necessary for mass spectrometry, while the PrismaPro is tailored to detect the specific mass range of molecules relevant to your application. This enables accurate identification and analysis of residual gases. The HiCube Neo RGA is an ideal fit for applications ranging from coating to vacuum furnaces.
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Built-in safety for peace of mind
The HiCube Neo RGA can operate in the pressure range from atmosphere to high vacuum. It is equipped with an integrated shut-off valve for precise inlet pressure adjustment. For additional protection, the system features a DigiLine full-range transmitter, which safeguards the mass spectrometer by continuously monitoring the total pressure. If the pressure exceeds safe levels, the transmitter automatically triggers the shutdown of the filament inside the mass spectrometer, preventing damage. This mechanism ensures the system is protected from operating errors and eliminates the need for costly filament replacements, saving on long-term maintenance costs.
Flexible connectivity for all your needs
The HiCube Neo RGA offers both digital as well as analog inputs and outputs, enabling the collection of external data such as pressure or gas flow. This data can then be transferred to external control units, allowing for comprehensive process monitoring.
The integrated HiCube Neo can be intuitively controlled via its touch screen, which not only displays measured values but also shows signals from connected external components like vacuum gauges. This provides full control over your analysis. The PV MassSpec software further enables easy and quick access to your data.
The HiCube Neo RGA can be customized to suit your specific processes. For example, the recipient – the chamber in which vacuum is generated – can be equipped with a heater. This evaporates possible residual gases that may have adsorbed onto the chamber walls. During operation, these trapped gases can gradually release and interfere with measurements, creating an unwanted background signal. By heating the chamber, these residual gases are desorbed and evacuated, reducing contamination and improving the accuracy of your analysis. The system can further be equipped with additional manual inlet valves for greater flexibility in sample handling. Additionally, when mounted on a trolley, the HiCube Neo RGA becomes a mobile solution, allowing for easy transport and use in different locations.
Your HiCube Neo RGA benefits
Cost-optimized solution for gas analysis
User-friendly software
Compact design
Easy operation with touch display
Completely customizable
Turn-key solution (pre-assembled)
Apropos maßgeschneiderte Systeme
Im Bereich kundenindividuelle Systeme haben wir über Restgasanalysesysteme hinaus noch mehr zu bieten. Unser über langjährige Erfahrung erworbenes Wissen zu den Anforderungen der Halbleiter-, Pharma-, Metallurgie- und aufstrebenden Märkte steckt in der Entwicklung hochmoderner Systeme, die Ihnen helfen, sich in Ihrer Branche zu behaupten. Zum Beispiel haben wir Kontaminationsmanagement-Systeme entwickelt, die darauf abzielen, Verunreinigungen zu identifizieren und zu minimieren sowie die Produktionsprozesse in jeder Phase zu optimieren. Für eine höhere Ausbeute durch verbesserte Qualität und kürzere Taktzeiten.
Teilmontierte Module für Lecktestaufgaben
Neben autarken Einheiten bieten wir auch modulare Lösungen an, die Sie in Ihr System integrieren können. Hierzu zählt unter anderem unser Lecktestmodul (kurz LTM), das Sie in Ihre Produktionslinie zur Serienfertigung integrieren können. Für die Vorserienfertigung ist es aber auch als Einzelprüfstand zur manuellen Qualifizierung erhältlich. Die kundenspezifisch konfigurierbaren Module können die vollständige Palette von Testmethoden und Parametern abdecken, und werden von uns teilmontiert. Mit unseren Erfahrungen zur mechanischen und softwaretechnischen Integration unterstützen wir unsere Kunden bei der Implementierung Ihrer Lösung.
