Das maßgeschneiderte RGA-System für anspruchsvolle Restgasmessung
Unser OmniGrade ist die maßgeschneiderte Komplettlösung zur Sauberkeitsverifizierung– von unseren Experten für Sie individuell konfiguriert und optimiert
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Reinheitsprüfung mit fundiertem Wissen zur Restgasanalyse (RGA)
Schnell expandierende Märkte mit immer höheren technischen Anforderungen legen zunehmend Wert auf höchste Sauberkeit, da molekulare Kontaminationen die Funktionalität ihrer Produkte beeinträchtigen. Der Schlüssel zur fachgerechten Qualitätssicherung liegt in der korrekten Bestimmung der Ausgasraten mittels Massenspektrometrie unter Hochvakuumbedingungen.
Seit vielen Jahren unterstützen wir unsere Kunden durch ein umfangreiches Portfolio an Analysegeräten zur Restgasanalyse. Über die Zeit ändern sich auch die Prüfanforderungen. Mit unserem OmniGrade erweitern wir unser Portfolio an Produkten zur Restgasanalyse, um eine höhere Wertschöpfungsstufe anzubieten und damit den Nutzen für unsere Kunden zu steigern.
Funktionsprinzip des PrismaPro Quadrupol-Massenspektrometers
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RGA-Systeme im Baukastenprinzip für jeden Prüfbedarf
Jede Prüfaufgabe ist anders. Unser Expertenteam greift auf den vollen Umfang an Pfeiffer Vacuum-Produkten zu, und konfiguriert daraus das System, das optimal zu Ihren Anforderungen passt. Dabei werden für Ihr OmniGrade nicht nur die einzelnen Komponenten wie Quadrupol-Massenspektrometer, Vakuumpumpen, Kammern und andere Einzelkomponenten gewählt, sondern auch die Gesamtbetriebskosten und Lieferzeiten der maßgeschneiderten, schlüsselfertigen Lösung berücksichtigt. Mit unserem Fachwissen können wir Ihnen dabei helfen, Prüfergebnisse in der von Ihnen benötigten Präzision zu erzielen und gleichzeitig den überflüssigen Aufwand zu minimieren.
Präzision nach Maß
Einen wesentlichen Einfluss auf die erreichbare Nachweisgrenze haben vor allem die Auswahl des Quadrupol-Massenspektrometers (PrismaPro oder HiQuad Neo) und die Festlegung der Kammeranzahl. Im Standardsystem gibt es zwei Kammern, eine in der der Prüfling liegt und eine, in der sich das Spektrometer befindet. Bei Bedarf wird dieser Aufbau um eine dritte Kammer, die Schleusenkammer, ergänzt. Hierdurch wird eine Kontamination der Messkammer aus der Umgebung vermieden und der Untergrund deutlich verringert. Durch Ausheizen des Systems wird dieses optimal konditioniert, was die Messfähigkeit weiter erhöht.
Die Einzelkomponenten
Massenspektrometrie mit PrismaPro oder HiQuad Neo
Trockene Vorvakuumpumpen
Sie wollen noch mehr wissen?
Kontaktieren Sie uns gerne, wir freuen uns auf Ihre Anforderungen!
Ihre OmniGrade-Vorteile
Bedarfsgerechte Ausführung durch Baukastensystem
Niedrige Nachweisgrenzen möglich
Vollautomatisierter Messprozess
Weltweites Servicenetzwerk
Prüfung gemäß GSA 07 1221 & GSA 07 2221
Anwendungen und Einsatzgebiete der OmniGrade-Restgasanalyse
EUV-Lithographie in der Halbleiterfertigung
Anwendungen im Ultrahochvakuum (UHV)
Apropos maßgeschneiderte Systeme
Im Bereich kundenindividuelle Systeme haben wir über Restgasanalysesysteme hinaus noch mehr zu bieten. Unser über langjährige Erfahrung erworbenes Wissen zu den Anforderungen der Halbleiter-, Pharma-, Metallurgie- und aufstrebenden Märkte steckt in der Entwicklung hochmoderner Systeme, die Ihnen helfen, sich in Ihrer Branche zu behaupten. Zum Beispiel haben wir Kontaminationsmanagement-Systeme entwickelt, die darauf abzielen, Verunreinigungen zu identifizieren und zu minimieren sowie die Produktionsprozesse in jeder Phase zu optimieren. Für eine höhere Ausbeute durch verbesserte Qualität und kürzere Taktzeiten.
Teilmontierte Module für Lecktestaufgaben
Neben autarken Einheiten bieten wir auch modulare Lösungen an, die Sie in Ihr System integrieren können. Hierzu zählt unter anderem unser Lecktestmodul (kurz LTM), das Sie in Ihre Produktionslinie zur Serienfertigung integrieren können. Für die Vorserienfertigung ist es aber auch als Einzelprüfstand zur manuellen Qualifizierung erhältlich. Die kundenspezifisch konfigurierbaren Module können die vollständige Palette von Testmethoden und Parametern abdecken, und werden von uns teilmontiert. Mit unseren Erfahrungen zur mechanischen und softwaretechnischen Integration unterstützen wir unsere Kunden bei der Implementierung Ihrer Lösung.
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Wir stehen für Ihre Fragen zur Verfügung
Unser Team aus Produktexpertinnen und -experten stehen Ihnen jederzeit zur Verfügung, um Ihre Fragen zu unseren Produkten und Ihren Anwendungen zu beantworten.
