检验与计量

随着步骤数量的增加，半导体器件制造日益复杂，晶圆检查和计量也愈加关键。除了针对传统检验和计量工具的真空解决方案外，我们还提供用于 FOUP（前开式晶圆传送盒）和洁净室环境分析的创新型管线内空气分子污染物 (AMC) 系统。使用我们的 AMC 系统，可以在整个生产周期中对晶圆进行分析，从而有助于提高生产良率。