洁净室内的 AMC 监测

空气分子污染物 (AMC) 是晶圆缺陷的主要来源，会导致半导体晶圆厂的良率损失。从操作员到工艺流程或外部环境，洁净室内的 AMC 可能由多种因素产生。随着芯片节点尺寸的不断缩小，对洁净室环境的监测成为大多数领先半导体晶圆厂的主要关注点。此外，AMC 监测还要求实时性和极高的灵敏度，以防止晶圆缺陷。普发真空提供各种实时洁净室 AMC 监测解决方案，灵敏度范围涵盖 ppb（十亿分之一）至 ppt（万亿分之一），专为领先的半导体晶圆厂设计。