누출 감지기

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 25 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub)

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용)

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 25 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치

제어 패널 없음, 진공 모듈과 전자 모듈 사이의 1.5 m 케이블 길이, 스니핑 옵션으로 높은 허용 유량 및 멀티 프로브 셋업 가능, 고객 요구사항의 충족을 위해 완전히 구성 가능한 E/A 인터페이스(37핀 D-Sub), 직렬 인터페이스로서 USB 및 RS-232 사용 가능, 범용 전압: 어느 국가에서 누출 감지 시스템을 준비하여 설치하든 전압 오류가 발생하지 않음, 헬륨 펌프 속도가 높아 응답 시간이 최적화됩니다

제어 패널 없음, 진공 모듈과 전자 모듈 사이의 5 m 케이블 길이, 스니핑 옵션으로 높은 허용 유량 및 멀티 프로브 셋업 가능, Profibus 통신, 기본 I/O 인터페이스(15핀 D-Sub), 범용 전압: 어느 국가에서 누출 감지 시스템을 준비하여 설치하든 전압 오류가 발생하지 않음, 헬륨 펌프 속도가 높아 응답 시간이 최적화됩니다

제어 패널 없음, 진공 모듈과 전자 모듈 사이의 3.5 m 케이블 길이, 고객 요구사항의 충족을 위해 완전히 구성 가능한 E/A 인터페이스(37핀 D-Sub), 이더넷, 직렬 인터페이스로서 USB 및 RS-232 사용 가능, 범용 전압: 어느 국가에서 누출 감지 시스템을 준비하여 설치하든 전압 오류가 발생하지 않음, 헬륨 펌프 속도가 높아 응답 시간이 최적화됩니다