- ASM 392, 범용 전압, 구성형 I/O 인터페이스 보드, 이더넷, 유출구 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 범용 전압, 구성형 I/O 인터페이스 보드, 이더넷, 유출구 DN 40 ISO-KF
- 건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h)
- 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처
- 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작
- 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능
- 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함
- PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub)
- 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용)
- 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치
- 건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h)
- 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처
- 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작
- 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능
- 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함
- PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub)
- 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용)
- 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치
