ASM 392, 범용 전압, 유출구 DN 40 ISO-KF

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check_circleI/O 인터페이스: RS232

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check_circle배기 커넥터: DN 40 ISO-KF

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건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m³/h)
높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처
슬림형 설계 및 매우 용이한 조작
대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능
액세서리 보관을 위한 통합형 도구함
일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치

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