ASM 392

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 25 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 25 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용), 일반 Fab 배기에 연결하기 위한 연결형 DN 40 배기장치

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub)

건식 청정 펌프, 높은 배압 펌프 용량(35 m3/h), 높은 헬륨 펌핑 속도와 대단히 빠른 반응 시간을 보이는 특수 펌프 아키텍처, 슬림형 설계 및 매우 용이한 조작, 대형 컬러 터치 스크린, 전체 회전 가능하고 도구 없이 탈착 가능, 액세서리 보관을 위한 통합형 도구함, PC/PLC로 제어하기 위한 완전 구성형 I/O 인터페이스(37핀 D-Sub), 이터넷 통신(추가 통신 포트 생성용)

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