Prüf- und Messtechnik
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Anwendungsgebiete
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Da die Produktion von Halbleiterbauelementen mit einer zunehmenden Anzahl von Schritten immer komplexer wird, werden Waferinspektion und Messtechnik immer kritischer. Neben Vakuumlösungen für herkömmliche Inspektions- und Messinstrumente bieten wir innovative Inline-Systeme für Airborne Molecular Contamination (AMC) für Front Opening Universal Pods (FOUP) und die Analyse von Reinraumumgebungen. Mit unseren AMC-Systemen werden die Wafer während des gesamten Produktionszyklus analysiert, was zur Steigerung der Produktionsausbeute beiträgt.
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