CD-REM

Wie funktioniert es?

CD-REMs werden für Messungen im nm-Bereich sowie zur Analyse von Materialarten verwendet. Bei dieser Technologie tastet der Elektronenstrahl den Wafer in einem Rastermuster ab. Zunächst erzeugt die Elektronenquelle jedoch am oberen Ende der Säule Elektronen, die dann von der positiv geladenen Anode beschleunigt und angezogen werden. Die gesamte Elektronensäule muss dabei unter Vakuum stehen. Wie alle Komponenten eines Elektronenmikroskops ist die Elektronenquelle in einer speziellen Kammer eingeschlossen, um das Vakuum zu erhalten und die Quelle vor Verunreinigungen, Vibrationen oder Geräusche zu schützen. Obwohl das Vakuum die Elektronenquelle vor Kontamination schützt, ermöglicht es dem Benutzer auch die Aufnahme eines hochauflösenden Bildes. Darüber hinaus erhöht das Hochvakuum die Sammeleffizienz von Elektronen durch die Detektoren, die sich in der Säule befinden.