使用四极杆质谱仪进行气体和残余气体分析

适用于各种应用

四极杆质谱仪 (QMS) 有多种配置和不同的外围设备，可以根据要求专门选择以适应应用领域。

基本上，分压是用质谱仪（也简称为RGA）测定的，而真空测量管则用于测量总压。只能测量气体 - 包括分析先前已蒸发的固体或液体物质。

设备选择的重要决策标准是：

• 压力范围和相关设计

• 分析性能（包括待检测质量、分辨率、检测限、测量速度）

压力范围对设计的影响

通过将待检查的气体抽出，在真空室中将其降至低压，并通过电子碰撞进行电离。以这种方式产生的离子在滤质器中根据质荷比进行分离。高真空是这些工艺的强制性要求。因此，要分析气体的压力范围通常也决定了设计。

分析性能

没有一种通用质谱仪能够涵盖所有可能的应用。无论压力如何，初始条件和分析目标都会有所不同。因此，在选择设备之前，有必要明确要解决的分析任务并定义您想要使用设备实现的目标。需要考虑的要求主要包括以下标准。

• 测量速度

• 分辨率

• 待检测质量

• 检测限

让我们看看各个组件对分析性能的影响。一般规则也适用于质谱分析：精度与价格成正比。在某些用例中，需要考虑一些需要采取特定措施或特别注意的关键因素。

标准详情

探测器

根据工作压力，使用不同的检测器：

对于法拉第探测器 (F)，工作压力不需要像组合法拉第/C-SEM 探测器 (M) 那样低。然而，这对检测限有直接影响。确切的数字取决于停留时间和使用的离子源，这些可以在我们的手册中找到。

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