超高真空

超高真空（简称 UHV）在科学技术基础研究的许多实验中是必不可少的。对 UHV 的需求，是因为需要高纯度、最少的颗粒相互作用，而且不能有其他污染物。为了满足上述以及更多的要求，真空压力必须 < 10-5 Pa。要达到此类压力，必须采取整体性的方法。由真空室、泵、真空计和检漏仪组成的整个真空系统，需要以适当的方式配置和规划。