Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
Kleine, leistungsstarke Turbopumpe mit einem Saugvermögen bis zu 32 l/s für N2, Höchste Kompression in dieser Saugvermögensklasse, Einfache Integration in kleine Analysesysteme, Geringes Gewicht, ideal für portable Anwendungen, Lange Wartungsintervalle für eine hohe Standzeit, Für den Einbau in allen Lagen, Integrierte Antriebselektronik TC 80, Umfangreiches Zubehör erweitert das Anwendungsspektrum
Machen Sie sich keine Sorgen, wir lassen Sie nicht im luftleeren Raum zurück
