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HiPace 2800
HiPace® 2800 IT mit TC 1200, DN 250 ISO-F
HiPace® 2800 IT mit TC 1200, DN 250 ISO-F
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0° (HV-Flansch oben) – 90°
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PM P05 241
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Empfohlenes Zubehör für HiPace® 2800 IT mit TC 1200, DN 250 ISO-F
HV-Schieber, DN 250 ISO-F, elektropneumatisch, SG (RS)/SV 24 V DC, 304/FKM
GVP-S12342
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Produktinformationen
Technische Daten
Abmessungen
Zubehör
Verbrauchsmaterialien
Ersatzteile
Downloads
Ideal für Ionen-Implantationssysteme
Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
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Produktinformationen
Ideal für Ionen-Implantationssysteme
Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
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