HiPace® 2800 IUT mit TC 1200, DN 250 ISO-F

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Item 1 of 3

Ideal für Ionen-Implantationssysteme
Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase
Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen
Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen
Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung

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