Ideal für Ionen-Implantationssysteme, Optimiertes Saugvermögen für leichte Gase, Der vernickelte Rotor garantiert Widerstandsfähigkeit gegenüber den eingesetzten Dotierstoffen, Das intelligente Temperaturmanagementsystem reduziert Prozesskondensation und -ablagerungen, Semi S2- und UL/CSA-Zertifizierung
Machen Sie sich keine Sorgen, wir lassen Sie nicht im luftleeren Raum zurück