Zum Nachweis von Prüfgasen setzt Pfeiffer Vacuum Lecksuchgeräte auf der Basis von Massenspektrometern und Quarzfenstersensoren ein. Massenspektrometer ionisieren ein Gasgemisch und isolieren das gewünschte Prüfgas durch das Masse-zu-Ladungs-Verhältnis. Quarzfenstersensoren basieren auf der selektiven Permeation leichter Gase durch eine Quarzmembran.
