检验与计量

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随着步骤数量的增加,半导体器件制造日益复杂,晶圆检查和计量也愈加关键。除了针对传统检验和计量工具的真空解决方案外,我们还提供用于 FOUP(前开式晶圆传送盒)和洁净室环境分析的创新型管线内空气分子污染物 (AMC) 系统。使用我们的 AMC 系统,可以在整个生产周期中对晶圆进行分析,从而有助于提高生产良率。

申请报告

在我们的应用报告中,您可以详细了解客户使用我们的真空解决方案的众多应用!

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