Trockene Schrauben-Vakuumpumpen für die Halbleiter-Produktion
Entwickelt für die anspruchsvollsten Prozesse in der Halbleiter-Produktion, darunter die Herstellung von Mikrochips, die Siliziumwafer-Beschichtung und das Ätzen.
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Modernste Vakuumtechnologie für die Halbleiterindustrie
Das Funktionsprinzip der COBRA Semicon Vakuumpumpen basiert auf unserer hochmodernen Schraubentechnologie. Mit ihren patentierten selbstausbalancierenden Schrauben setzen sie neue Maßstäbe in Sachen Effizienz und Zuverlässigkeit für die Halbleiter-Produktion.
COBRA Semicon Vakuumpumpen kombinieren hohen Durchsatz mit hervorragender Dampf- und Partikelverträglichkeit. Partikelhaltige Medien können daher problemlos abgepumpt werden. Das öl- und berührungsfreie Funktionsprinzip sorgt für geringen Wartungsbedarf, niedrige Betriebskosten und lange Lebensdauer.
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COBRA BC 1001 G
Arten von trockenen Schrauben-Vakuumpumpen
COBRA Semicon trockene Schrauben-Vakuumpumpen sind nicht nur die ideale Wahl für die verschiedenen Prozesse in der Halbleiter-Produktion, sondern auch für die Herstellung von Photovoltaikzellen und Flachbildschirmen sowie für zahlreiche Beschichtungsanwendungen perfekt geeignet.
Produktreihe | Nennsaugvermögen | Typ |
COBRA BC | 100 m3/h - 1.580 m3/h | Semicon |
COBRA DS | 70 m3/h - 6.000 m3/h | Semicon |
Entdecken Sie unsere Baureihe COBRA Semicon
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COBRA BC
Die ideale Lösung für leichte bis mittlere Halbleiter-Anwendungen
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
Einzigartige fliegende Lagerung
Freitragende Konstruktion
Kompakte, platzsparende Bauweise
Direkte Wasserkühlung
Vollständig offenes Kommunikationsprotokoll
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COBRA 0101 BC G
Alle COBRA BC Produkte
- 1361800401
- 1361800493
- 1361800605
- 1361800409
COBRA DS
Die neue Generation trockener Vakuumpumpen für anspruchsvolle Halbleiter-Prozesse
Hochmoderne Schrauben-Vakuumtechnologie
Trockenes und berührungsfreies Funktionsprinzip
Hervorragende Partikelverträglichkeit
Effiziente indirekte Wasserkühlung
Kompakte, platzsparende Bauweise
Hohes Saugvermögen für das Absaugen von Wasserstoff
Hocheffizienter Motor
Baugrößen mit integriertem Vakuum-Booster verfügbar
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COBRA DS 1200 A
Alle COBRA DS Produkte
- 1361800580
Halbleiter-Anwendungen
In der Halbleiter-Produktion sind eine kontaminationsfreie Umgebung und ein hohes Vakuumniveau erforderlich. Unsere COBRA Semicon trockenen Schrauben-Vakuumpumpen erfüllen diese Anforderungen.Kontaktieren Sie unsere Experten, um die optimale Vakuumlösung für Sie zu finden.
Erfahren Sie mehr über den Einsatz der trockenen Schraubentechnologie in verschiedenen Halbleiter-Anwendungen:
Rapid Thermal Annealing (RTA)
Rapid Thermal Processing (RTP)
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