๊ด์ ์ง
์ดํ๋ฆฌ์ผ์ด์
์ง๊ณต ์์ด๋ ์ฌ์ ๊ฐ๋ฅํ ์๋์ง๊ฐ ๋ถ๊ฐ๋ฅํ ๊ฒ์ ๋๋ค. ํ์ ์ ์ง๋ฅผ ์ฌ์ฉํด์ ํ์์์ ์ป์ ์๋์ง๋ฅผ ๊ด์ ํจ๊ณผ์ ์ํด ์ ์์ ํ๋ฆ์ผ๋ก ๋ณํํจ์ผ๋ก์จ ์ ๋ ฅ์ ์์ฑํ๋ ๋ฐฉ๋ฒ์ผ๋ก์ ๊ฐ์ฅ ์ ์๋ ค์ง ๊ด์ ์ง(PV)๋ฅผ ์๋ก ๋ค ์ ์์ต๋๋ค. ํ์ ์ ์ง ๊ธฐ์ ์๋ ๋ค์ํ ์ ํ์ด ์์ต๋๋ค. ์ฃผ์ ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ๋ง ์ฆ์ฐฉ์ด๋ ๊ฒฐ์ ์ง ์ค๋ฆฌ์ฝ ์จ์ดํผ๋ฅผ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ํ๋ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค.
ํ์ ์ ์ง๋ PVD(๋ฌผ๋ฆฌ์ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ) ๋๋ PECVD(ํ๋ผ์ฆ๋ง ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ) ๋๋ ALD(์์์ธต ์ฆ์ฐฉ)์ ๊ฐ์ ๋ค์ํ ๋ฐฉ๋ฒ์ ํตํด ์ฆ์ฐฉํ ์ ์์ต๋๋ค.
ํ์ดํผ ๋ฒ ํ ์ ๊ทํ์ ์์ฉ ๋ถ๋ฌธ์ ์ง์ํ๊ธฐ ์ํด ์ ๋ฌธ ๊ธฐ์ ๊ณผ ์๋ฒฝํ ์ ํ ํฌํธํด๋ฆฌ์ค๋ฅผ ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค.