결정질 실리콘 태양 전지
진공 없이는 재생 가능한 에너지가 불가능할 것입니다. 태양 전지를 사용해서 태양에서 얻은 에너지를 광전 효과에 의해 전자의 흐름으로 변환함으로써 전력을 생성하는 방법으로서 가장 잘 알려진 광전지(PV)를 예로 들 수 있습니다.
응용 분야 요구 사항
긴 유지 보수 간격 및 최대 가동 시간
탄소 미함유 진공
매우 간단한 현장 유지 보수
높은 흡입 속도와 빠른 펌프 다운
어떻게 작동합니까?
태양 전지 기술의 종류는 다양하며, 그 중에서도 주요 기술은 결정질 실리콘 웨이퍼를 기반으로 하는 기술입니다. 이 태양 전지는 모든 기술의 효율성을 최고 수준으로 만들어 줍니다. 주요 층은 질화 규소를 기반으로 하지만, 전지의 효율성을 더욱 최적화하기 위해 다른 기능층으로 컴파일되는 중입니다. 전지 후면에 있는 반사층을 최적화하여 전지 내부의 흡수율을 높이는 것이 이 시장의 현재 추세입니다(PERC(Passivated emitter rear contact)). PERC 층은 PECVD 공정이나 ALD 공정을 사용할 때 막 증착을 추가함으로써 생성됩니다.
이종 접합 태양 전지와 같은 신기술에서는 박막 증착의 재료 소비량을 줄여주는 등의 다양한 태양 기술의 각종 장점을 결정 실리콘 전지의 고효율성과 결합하고 있습니다. 태양 전지 웨이퍼는 다층 태양 전지를 생성하기 위해 여러 단계의 PVD 공정이나 PECVD 공정이 수행되는 진공 챔버에 삽입됩니다. 이러한 층들을 증착시키기 위해서는 공정에 따라 10-3 ~ 10-5 hPa 범위의 진공이 필요합니다. 표면이 넓기 때문에 흡입 속도가 빠를 수 밖에 없습니다. 이러한 층의 질을 높이려면 진공이 깨끗해야 하며 탄소가 없어야 합니다.
제품 포트폴리오
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