阀门

本设备用于降低一些工艺流程中的净化气体流量, 与配有净化阀的泵一起使用, 流量降低到 50 sccm

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于自带 TC 1200 的 HiPace 2800 / 3400, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于自带 TC 1200 的 HiPace 2800 / 3400, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

该阀为常闭设计, 完全适配 HiScroll 12 和 HiScroll 18，与带 BC800 控制器的整个 HiScroll 系列兼容, 直接安装在真空法兰 HiScroll 上，通过附件端口进行控制, 阀门电源；通过普发真空 AccessLink 附件端口进行控制, 连接该阀门需要 PD Z10 051 综合布线包, 该附件不具备 ATEX 认证

用于连接 ISV25 和附件端口 HiScroll, 该附件不具备 ATEX 认证

该阀为常闭设计, 直接安装在真空法兰 HiScroll 上，通过附件端口进行控制, 该附件不具备 ATEX 认证

将前级真空安全阀装入涡轮泵和前级真空泵之间的泵组的前级真空管内, 停电时的防止回流的其它安全性, 连接电压 115 V AC