阀门

将前级真空安全阀装入涡轮泵和前级真空泵之间的泵组的前级真空管内, 停电时的防止回流的其它安全性, 连接电压 230 V AC

防止真空系统的超压, 仅可用于真空腔室。从机械指令 2006/42/EC 的含义来说没有安全组件, Opening pressure with nut in middle position approx. 450 hPa, 切换点可变动超过+/-50 hPa，并表现出滞后。, For valves not actuated for a period of time, initial cracking pressure may be higher than the set cracking pressure., 请遵守最大流量。, 在 1000 hPa 差压时的密封性, 在排气侧的KF接口上可以连接一个排气软管

防止真空系统的超压, 仅可用于真空腔室。从机械指令 2006/42/EC 的含义来说没有安全组件, Opening pressure approx. 200 to 500 hPa, 请遵守最大流量。, 在 1000 hPa 差压时的密封性

防止真空系统的超压, 仅可用于真空腔室。从机械指令 2006/42/EC 的含义来说没有安全组件, Opening pressure with nut in middle position approx. 400 hPa, 切换点可变动超过+/-50 hPa，并表现出滞后。, For valves not actuated for a period of time, initial cracking pressure may be higher than the set cracking pressure., 请遵守最大流量。, 在 1000 hPa 差压时的密封性, 在排气侧的KF接口上可以连接一个排气软管

密封塞用于带密封圈的密封气体接口（用于 ATH 500 M）, 可连接密封塞代替过滤器

气体密封阀仅适用于 ATH 500 M（不用于 MT 版本）, 阀门由客户方驱动, 由 24 V DC 驱动

密封气体保护泵轴承, 推荐用于腐蚀性应用, 当检查气密性时，可以隔断此阀门的通路, 50 sccm

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于带有TC 400 的 HiPace 400/700/800 P 和 C, 适用于配备 TC 1200 的 HiPace 1200 – 2300, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 带 M12 插头，可直接连接驱动电子装置的附件输出端

可靠防止有害物质进入发动机和轴承区域, 适用于带 TC 110 的 HiPace 30/60/80 和 Splitflow 50, 接头 G 1/8", 该阀为常闭设计, 使用 M8 插头可以直接连接到连接电缆的附属输出端，带端口 (PB, E74, RS) 的 TCS 12/13 和 TC 110