HiPace®

适用于离子注入系统, 优化的抽气速率，适于轻气体, 镀镍的转子确保可以耐受所用的搀杂剂, 智能温度管理系统可减少过程冷凝和沉积, 准 S2 和 UL/CSA 认证

具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵, DN 200 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合, 带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200, 冷却方法：水冷却, 安装方向：标准（0° – 90°）, 配备了 24 V DC 电动密封气体阀的集成密封气体系统, 防护等级：IP54, 接口：RS-485，远程（可根据要求提供 Profibus/DeviceNet）, 广泛的配件扩展使用范围

具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵, DN 200 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合, 带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200, 冷却方法：水冷却, 安装方向：标准（0° – 90°）, 配备了 24 V DC 电动密封气体阀的集成密封气体系统, 防护等级：IP54, 接口：RS-485，远程（可根据要求提供 Profibus/DeviceNet）, 广泛的配件扩展使用范围

具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵, DN 200 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合, 带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200, 冷却方法：水冷却, 安装位置：高架 (90° – 180°), 配备了 24 V DC 电动密封气体阀的集成密封气体系统, 防护等级：IP54, 接口：RS-485，远程（可根据要求提供 Profibus/DeviceNet）, 广泛的配件扩展使用范围

具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵, DN 200 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合, 带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200, 冷却方法：水冷却, 安装位置：高架 (90° – 180°), 配备了 24 V DC 电动密封气体阀的集成密封气体系统, 腐蚀性气体型, 防护等级：IP54, 接口：RS-485，远程（可根据要求提供 Profibus/DeviceNet）, 广泛的配件扩展使用范围

具有最高 1250 l/s 对于 N2 抽吸能力的高性能涡轮分子泵, DN 200 ISO-F 法兰, 带电源件的集成驱动电子装置 TC 1200, 冷却方法：水冷却, 安装方向：标准（0° – 90°）, 配备了 24 V DC 电动密封气体阀的集成密封气体系统, 防护等级：IP54, 接口：RS-485，远程（可根据要求提供 Profibus/DeviceNet）, 广泛的配件扩展使用范围