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HiPace®
HiPace 2800
配备了 TC 1200 的 HiPace® 2800 IUT，DN 250 ISO-F
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90° – 180°（高真空法兰底部）
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配备了 PKR 361，25 KF 的 OmniControl 200
PT 440 955 -T
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用于安装泵的连接套件，DN 40 ISO-KF
120SWS040-1000
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高真空闸阀，DN 250 ISO-F，电动气动，PI（簧片开关）/ PV 24 V DC，不锈钢/氟橡胶
GVP-S12342
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产品信息
技术数据
方面
配件
耗材
备件
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适用于离子注入系统
优化的抽气速率，适于轻气体
镀镍的转子确保可以耐受所用的搀杂剂
智能温度管理系统可减少过程冷凝和沉积
准 S2 和 UL/CSA 认证
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适用于离子注入系统
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