AMPC-多端口监测环境质量
AMPC 是洁净室和设备前端模块 (EFEM) 监控的理想解决方案。
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数据管理和晶圆厂通信
IC 晶圆厂中的空气分子污染物 (AMC) 被认为是导致良率损失的主要因素。 为了控制和了解污染的来源，普发真空现为半导体市场带来了独特的解决方案，以监控洁净室以及 EFEM（设备前端模块）。
由于采用了创新的集成阀设计，AMPC 聚集了最先进的分析仪，可检测和量化晶圆厂中多达 96 个位置的酸、碱和有机化合物。
AMPC 系列包括两款工具：AMPC S 和 AMPC L，两者外部尺寸、管线数和选件不同。
此外，AMPC 扩展框架还可为额外的分析仪提供 39 个机架单位的空间。它可以用于现有 AMPC 单元的升级，也可以添加到新的 AMPC S 和 AMPC L 单元中。
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单页 污染管理解决方案
该工具软件允许终用户在污染水平超过定义的阈值时设置各种警报。
所有测量结果和工具参数都存储在一个数据库中，该数据库可以传输到晶圆厂的通信协议，为客户提供晶圆厂污染水平的实时状况。
客户还可以根据需要远程访问该工具以修改工具参数。
客户受益
实时化合物测量（酸、碱、有机化合物）
用于管理取样管线优先级、质量检查 (QC) 和警报的创新软件
将 96 条取样管线聚集到一个工具上（八个分析仪）
高吞吐量（三分钟内即可完成分析和清洁）
各取样管线之间无交叉污染
半导体市场的环境多端口控制
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