污染管理解决方案

Pfeiffer 的创新解决方案

污 染管理系统是我们专门为半导体和制药行业新开发的。Pfeiffer 作为真空技术供应商的多年经验塑造了我们对生产系统流程、设备和环境的知识和理解。基于这一认识，我们已开发了能够识别并减少污染以及提高工艺每个步骤产量的解决方案。归根结底，我们知道，具有科学认识的高级分析是分子层面 含有污染的关键所在。

为 保证生产质量和高产量，对器件包装中的污染物及其直接环境的认识是十分重要的。

在半导体行业，通过 APA 302，可以在处理周期内进行连续性的分析。而 ADPC 302 全自动化的工艺则能够在运输载体的内表面上对粒子进行定位和计数。至于 APR 4300，在此基础上甚至更进了一步。

AMPC 是洁净室和设备前端模块 (EFEM) 监控的理想解决方案。