真空系统具有很多单个部件,必须这些部件进行组装以形成 一个完整的单元。使用可拆卸的真空密封法兰连接,部件可 直接连接或通过真空部件,如管件或软管连接。有很多可用 的标准部件,其主要由不锈钢制成,但也有铝制成的。真空 交叉连接点可由管件制成,如弯头、三通或十字接头件,适 配元件提供由真空法兰到管线或 VCR 连接的过渡,变径管或 转接件使改变公称通径或法兰系统成为可能。
如果安装空间有限,应安装尽可能少的法兰连接;如果使用 标准部件无法实现所需的过渡和连接,则使用定制部件。从 最简单的长双头螺纹短节,直至高度复杂极其特殊的解决方 案。
柔性连接最简单的形式是塑料软管。较大的公称通径通过镶 嵌的金属螺线增强,防止收缩。两端套在软管接头上并用喉 箍固定。由于真空中的塑料出气,此类软管应仅用于低、中 真空应用。对于压力大于 1 · 10-4 hPa 的,金属软管是必要 的。它们以同心轴的形式从薄壁管冷成形,并被焊接到法兰 连接上,以对它们进行严实密封。退火的波纹软管在变形后 通过退火消除应力,因此具有较低的恢复力矩。然而,变形 导致进一步的冷加工,并根据变形的程度,它再次省略了应 力消除退火。薄壁波纹软管是非常灵活的,容易变形。
波纹软管在真空下收缩。因此,柔性连接器可以用作膨胀 节。根据轴向压缩量和液压横截面,产生轴向力,并被传递 到法兰连接上。大的公称通径产生巨大的张力,这在设计系 统时必须予以考虑。波纹软管主要用于连接一个空间中的两 个法兰,而弹簧波纹管用于轴向补偿或振动吸收。其外形非 常灵活,因为其以 Ω 波的形式压缩。
薄膜波纹管是由焊接在一起的单个薄片制成。在短安装长度 上,可实现长的轴向行程和大的弯曲角度。由于薄片的刚 性,只有通过相对多的膜对形成 S 型轮廓,横向偏移才有可 能。