TC 1200을 갖춘 HiPace® 2800 IUT, DN 250 ISO-F

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  • 이온 주입 시스템에 적합
  • 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
  • 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
  • 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
  • Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증

  • 이온 주입 시스템에 적합
  • 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화
  • 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장
  • 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소
  • Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증