HiPace 2800

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HiPace 2800
HiPace® 2800 IT
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HiPace 2800
HiPace® 2800 IT(TC 1200 포함), DN 250 ISO-F
이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
PM P05 241
HiPace 2800
TC 1200을 갖춘 HiPace® 2800 IUT, DN 250 ISO-F
이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
PM P05 246

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