터보 펌프

이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증

N2 펌핑 속도가 최대 300 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 컴팩트, 강력, 경질 가스용 우수한 펌핑 속도, 레이저 밸런싱 기술, 모든 방향에서 설치, TC 120 통합형 전자 드라이브 유닛, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 300 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 컴팩트, 강력, 경질 가스용 우수한 펌핑 속도, 레이저 밸런싱 기술, 모든 방향에서 설치, TC 120 통합형 전자 드라이브 유닛, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 380 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 컴팩트, 강력, 경질 가스용 우수한 펌핑 속도, 레이저 밸런싱 기술, 모든 방향에서 설치, TC 120 통합형 전자 드라이브 유닛, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 380 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 컴팩트, 강력, 경질 가스용 우수한 펌핑 속도, 레이저 밸런싱 기술, 모든 방향에서 설치, TC 120 통합형 전자 드라이브 유닛, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다

N2 펌핑 속도가 최대 790 l/s인 작지만 강력한 터보 펌프, DN 200 CF-F, 어댑터 OPS 400이 통합되어 있는 드라이브 전자장치 TC 400, 분석 및 산업 응용분야에 이상적임, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다