합성 오일

산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 솔벤트, HCL, BF3, HF, PO3 및 불소 펌핑 다운용 고품질 퍼플루오로폴리에테르 작동유, 최대 120°C까지 높은 작동 온도에서 사용, 펌핑 속도가 최대 20 m3/h 이하로 펌핑할 경우, 극히 낮은 증기압, 달성 가능한 도달 압력 < 1 · 10-3 hPa

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