F5, 퍼플루오르폴리에테르, 20 l
- 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 솔벤트, HCL, BF3, HF, PO3 및 불소 펌핑 다운용 고품질 퍼플루오로폴리에테르 작동유
- 최대 120°C까지 높은 작동 온도에서 사용
- 펌핑 속도가 최대 20 m3/h 이상으로 펌핑할 경우
- 극히 낮은 증기압, 달성 가능한 도달 압력 < 1 · 10-3 hPa
- 산소, 오존, 할로겐, 유기 및 무기 솔벤트, HCL, BF3, HF, PO3 및 불소 펌핑 다운용 고품질 퍼플루오로폴리에테르 작동유
- 최대 120°C까지 높은 작동 온도에서 사용
- 펌핑 속도가 최대 20 m3/h 이상으로 펌핑할 경우
- 극히 낮은 증기압, 달성 가능한 도달 압력 < 1 · 10-3 hPa
