진공 측정기의 선택 및 설치 시 다음과 같은 속성과 진공 측 정의 독특한 요소들이 고려되어야 합니다
진공실에서의 잠재적인 압력 경도 발생으로 인한 설치 위 치의 적절한 선택
표면 및 밀봉재가 탈기체를 보여줍니다. 진공 측정기는 따 라서 진공실 내부보다 더 높은 압력을 표시할 수 있습니 다. 연결 플랜지는 따라서 가능한 한 짧아야 하고, 실 수는 최소로 감소되어야 합니다.
이온화 진공 측정기는 펌핑 효과를 가질 수 있고 그 결과 진공실의 실제 압력보다 더 낮은 압력을 표시할 수 있습니 다.
저온 음극 측정기는 중간 진공 범위에서 아르곤과 같은 무 거운 기체와 함께 작동될 경우 특별히 생성되는 내재된 스 퍼터 효과를 갖습니다. 이것은 일관성 없고 부정확한 판독 을 이끌 수 있습니다.
탄화수소가 존재할 경우 이온화 측정기는 유기 분자의 분 해 제품들과 함께 오염됩니다. 스퍼터 효과와 같은 방식으 로 판독이 왜곡되거나 일관성이 없을 수 있습니다.
위에서 설명한 현살들로 인한 오염을 피하기 위하여 이온 화 측정기의 전환점이 선택되어야 합니다.
강력한 자기장과 전기장은 진공 측정기의 기능을 손상시 킬 수 있습니다. 이것은 특히 이온화 측정기에 적용됩니 다.
초고진공이 생성될 수 있기 위해서는 진공 측정기를 포함 하여 진공 장비가 베이크 아웃되어야 합니다. 기술 데이터 에 명시된 최대 베이크 아웃 온도와 조건이 부합되어야 합 니다.
저온 음극 측정기는 오염될 경우 쉽게 분해 청소될 수 있습니 다. 다른 측정 원칙을 적용하면 대체로 센서 교체가 가능합니 다. 진공 측정기는 어느 정도의 마모 및 오염의 영향을 받을 수 있고 따라서 가능하면 자주 교체될 필요가 있음을 항상 명 심해야 합니다. 광범위한 작동 조건은 교체 간격에 대한 일반 권장사항을 불가능하게 만듭니다.
순수하게 기계적인 다이얼 측정기(스프링 압력 또는 Bour- don 튜브 나노미터)는 1,000 – 1 hPa 압력 범위에서부터 사 용됩니다. 하지만 이 게이지들은 오직 제한된 정확성만 제공 하며 설치 시에만 직접 판독될 수 있습니다. 격막 진공 측정 기(piezo 센서 또는 용량성 센서)는 더 정확한 측정을 얻기 위하여 그리고 판독의 원격 디스플레이를 위하여 사용됩니 다.
Pirani 열전도성 진공 측정기는 10 hPa~10-4 hPa에서 사용됩 니다.
< 10-2 hPa 압력에서는 특수 “고압” 열음극 이온화 진 공 측정기의 사용도 가능합니다.
각각의 저온 음극 이온화 진공 측정기 또는 Bayard-Alpert 이 온화 진공 측정기는 10-3 hPa 미만의 압력에서 사용되며, 후 자는 깨끗한 조건 및 엄격한 정확성 요구조건의 경우에 사용 됩니다. 전체 압력 범위를 사용하기 위하여 두 개 이상의 센 서를 조합하여 사용하는 것도 좋은 생각입니다.
격막 진공 측정기와 Pirani 진공 측정기의 경우, 압력이 충분 히 낮을 경우에만 이온화 진공 측정기를 활성화시키기 위하 여 압력 스위치점이 생성되어 가열된 음극의 오염 또는 단선 으로부터 보호합니다. 결과적으로 당사는 자동 전환 조합 센 서를 공급하며, 이는 아래에 설명됩니다.
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그림 5.8: 압력 측정 범위와 측정 원칙
패시브 진공 측정기는 통홥된 전자 유닛이 없습니다. 이들은 케이블을 경유하여 제어 유닛에 연결됩니다. 제어 유닛은 전 원 공급, 측정된 데이터의 평가 및 디스플레이를 제공합니다. 제어 유닛은 보통 아날로그 전압 출력, 디지털 인터페이스, 전환점에 대한 계전기 접촉기가 장착되어 있습니다.
조합 센서는 한 개의 동일한 측정 셀에서 두 개의 센서를 조 합하여 다음과 같은 이점을 제공합니다.
단일 센서에 비해 더 넓은 측정 범위
두 센서에 대해 단 한 개의 측정값 출력
초과 압력에서 활성화되지 않고 예민한 고진공 측정기에 대해 통합된 보호
단 한 개의 연결 플랜지 필요
다양한 조합은 개별 시리즈에 주어진 정보에 설명되어 있습 니다.
