Photovoltaik

Erneuerbare Energien wären ohne Vakuumtechnik nicht möglich. Ein Beispiel dafür ist die Photovoltaik (PV), die am besten bekannte Methode zur Erzeugung von elektrischer Energie. Dabei werden Solarzellen eingesetzt, um die Energie der Sonne durch den photovoltaischen Effekt in einen Elektronenfluss umzuwandeln. Es gibt verschiedene Arten von Solarzellentechnologien. Die wichtigsten davon basieren auf der Dünnschichtabscheidung oder auf kristallinen Siliziumwafern.

Abscheidungsprozesse für Solarzellen können durch verschiedene Methoden wie physikalische Gasphasenabscheidung (PVD; Physical Vapor Deposition), plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD; Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) oder Atomlagenabscheidung (ALD; Atomic Layer Deposition) erreicht werden, die alle ein Vakuum erfordern.

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