本设备用于降低一些工艺流程中的净化气体流量, 与配有净化阀的泵一起使用, 流量降低到 50 sccm
过滤器保护泵免受固体颗粒的影响, 它集成在泵壳内, 所有 ATH-M 和 ATP-M 泵供货时都带有入口过滤器
旋转法兰用于泵的装配
过滤器保护泵免受固体颗粒的影响, 它集成在泵壳内, 所有 ATH M 和 ATP M 泵供货时都带有入口过滤器
别担心,我们不会让您处于真空状态