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밸브
밀봉 기체 밸브, 차폐됨(상시 닫힘형)
밀봉 가스 스로틀 DN 16, 50 sccm
밀봉 가스 스로틀 DN 16, 50 sccm
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이 장치는 일부 공정에서 퍼지 기체 유량률을 줄이는 데 사용됩니다.
퍼지 밸브가 장착된 펌프에서 사용됨
50 sccm까지 유량 감소
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