真空阀

需要两个接头当作附件, 波纹管密封, 使用寿命：150 万次操作周期

波纹管密封, 常闭 (n. c.), 需要两个接头当作附件, 使用寿命：150 万次操作周期, 款型： EVI 005 P = 气动（不带先导阀）；EVI 105 P = 电动气动（带先导阀）

可切断且不需改变已置气流, 高性能, 数字式位置显示, 再现性优异, 极小死点容积, 控制范围非常大

高气流量, 控制范围非常大, 带有集成电机控制电子设备

需要两个接头当作附件, 驱动装置：电磁铁, 调节范围 0.017 至 1.7 hPa l/s, 常闭 (n. c.)

需要两个接头当作附件, 驱动装置：电磁铁, 调节范围 0.085 至 8.5 hPa l/s, 常闭 (n. c.)

需要两个接头当作附件, 驱动装置：电磁铁, 调节范围 0.17 至 17 hPa l/s, 常闭 (n. c.)

需要两个接头当作附件, 驱动装置：电磁铁, 调节范围 0.85 至 85 hPa l/s, 常闭 (n. c.)

由于自由通道的高流导, 硫化盘式密封件, 使用寿命为 50000 次开关循环