涡轮泵

具有最高 670 l/s 对于 N2 抽吸能力的坚固、高性能涡轮泵, 理想适用于镀膜及半导体工艺以及诸如电子束焊接装置等易受灰尘影响的工业应用, 集成驱动电子装置 TC 400、48 V DC, 可在任何方向安装, 带有集成型水冷系统以保证最大气体流量, 通过使用最多 4 个配件实现使用多样性, 理想适用于快速循环, 广泛的配件扩展使用范围, 工艺过程适宜，即耐灰尘

坚固的高性能涡轮泵，用于氮气时的最高抽速可达 685 l/s, 高的压缩率，尤其适用于轻质气体, 适用于生成超高真空, 集成型驱动电子设备 TC 400, 可在任何方向安装, 集成式高性能冷却系统

坚固的高性能涡轮泵，具有高达 790 l/s 的氮气抽气速率, DN 200 CF-F

坚固的高性能涡轮泵，具有高达 790 l/s 的氮气抽气速率, DN 200 ISO-F

坚固的高性能涡轮泵，具有高达 790 l/s 的氮气抽气速率, DN 200 ISO-K

坚固的高性能涡轮泵，用于氮气时的最高抽速可达 685 l/s, 高的压缩率，尤其适用于轻质气体, 适用于生成超高真空, 集成型驱动电子设备 TC 400, 可在任何方向安装, 集成式高性能冷却系统, DN 160 CF-F 法兰，适用于苛刻的超高真空应用场合

坚固的高性能涡轮泵，用于氮气时的最高抽速可达 685 l/s, 高的压缩率，尤其适用于轻质气体, 适用于生成超高真空, 集成型驱动电子设备 TC 400, 可在任何方向安装, 集成式高性能冷却系统

坚固的高性能涡轮分子泵，用于氮气时的最高抽速可达 260 l/s, 集成型驱动电子设备 TC 400, 非常适合超高真空应用, 可在任何方向安装, 带有集成型水冷系统以保证最大气体流量, 通过使用最多 4 个配件实现使用多样性, 理想适用于快速循环, 广泛的配件扩展使用范围

坚固的高性能涡轮分子泵，用于氮气时的最高抽速可达 260 l/s, 集成型驱动电子设备 TC 400, 非常适合超高真空应用, 可在任何方向安装, 带有集成型水冷系统以保证最大气体流量, 通过使用最多 4 个配件实现使用多样性, 理想适用于快速循环, 广泛的配件扩展使用范围