用于抽除氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、氯化氢、BF3、HF、PO3 和氟的优质全氟聚醚工作流体, 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用, 适用于具有 < 20 m3/h 抽吸能力的泵, 低蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
用于抽除氧气、臭氧、卤素、有机和无机溶剂、氯化氢、BF3、HF、PO3 和氟的优质全氟聚醚工作流体, 适用于高运行温度最高 120 °C 时使用, 适用于具有 > 20 m3/h 抽吸能力的泵, 低蒸气压,可实现的极限压力 < 1 · 10-3 hPa
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