可针对真空应用定制, EtherCAT 接口
5 · 10-9 – 1000 hPa, 可针对真空应用定制, DeviceNet 接口
可针对真空应用定制, Profibus DP 界面
可针对真空应用定制, Profinet 接口 (MRP)
可针对真空应用定制
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