具有最高 64 l/s 对于 N2 抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵, 集成驱动电子装置 TC 110 RS, 直接在 TC 110 RS 上的 4 个配件端口和 RS-485, 可在任何方向安装, 非常适用于可靠的系统集成, 工艺过程适宜,即耐灰尘, 广泛的配件扩展使用范围
具有最高 64 l/s 对于 N2 抽吸能力的小型、高性能、无 Holweck 级别的涡轮分子泵, TC 110 集成电子驱动单元, 在任何方向安装, 简单、可靠的系统集成, 工艺过程适宜,即耐灰尘, 广泛的配件扩展使用范围
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