磁悬浮涡轮分子泵

免维护高性能泵，可实现最大抽速

紧凑的设计、低能耗和高抽速 - 普发真空的磁力轴承涡轮分子泵是您可以信赖的高品质、无故障的产品，可实现最佳高性能。

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全磁悬浮轴承如何工作？

磁力轴承提供非接触式轴承支撑，转子和外壳不会相互接触。磁力使转子保持恒定的悬浮状态。因此，磁力轴承特别适合需要低磨损、清洁、无润滑条件以及高速的应用，例如半导体制造、涂层技术和研究的高真空和超高真空产生。

磁力轴承涡轮分子泵所使用的电磁轴承通过传感器、电磁体、功率放大器和控制器的复杂组件来利用电磁力，使转子保持悬浮状态并使其旋转。电磁轴承也称为“主动磁力轴承”，因为转子位置受到监控并永久重新调整。由于自动不平衡补偿，这确保了无磨损、低振动的运行。因此，您可以在整个使用寿命期间受益于持续的转子稳定性以及免维护和免润滑运行。

磁悬浮涡轮分子泵剖面图

普发真空磁悬浮涡轮分子泵

通过HiPace M、ATH M 和 ATP M 产品系列为您提供专门针对高气体吞吐量和工作压力的生产工艺进行优化的涡轮分子泵。

HiPace M 泵的抽速为 300 – 800 l/s ，并且对小分子轻质气体具有高压缩比。由于采用了集成驱动电子设备，不再需要复杂的接线，同时您还可以受益于缩短的运行时间。由于采用铝制外壳，真空泵特别轻巧，您可以以任何方向安装它们。它们具有极低振动的特点，非常适合所有振动敏感应用。

ATH M 系列的一些全磁悬浮力轴承涡轮分子泵还具有自己的集成的加热功能。这使得它们可以保持恒定的高温，以最大限度地减少化学品和其他副产品的冷凝。

小册子: TH 2804 M 和 ATH 3204 M

磁悬浮力轴承及其在真空生产中的优势

我们配备 5 轴磁力轴承的涡轮分子泵可为您提供最大压缩比力和气体吞吐量以及高最佳抽速和最小振动。这使得它们成为分析、研究和开发应用以及镀膜涂层和半导体生产领域的反应过程的出色的完美解决方案。

此外，带全磁悬浮磁力轴承的涡轮分子泵还具有以下优势：

清洁真空应用
非接触式磁力轴承系统无需润滑剂或磨损即可运行。这意味着您可以在关键真空应用中使用磁力轴承涡轮分子泵而无需担心。
可靠的技术
ATH M 和 ATP M 系列的主动 5 轴磁悬浮轴承可监控转子位置并实时平衡与目标位置的任何偏差。这种高质量的轴承技术提供了最佳的长期稳定性、可靠性和极其安静的运行——非常适合半导体生产、镀膜涂层和干蚀刻等离子工艺，以及许多工业和研发应用。

免维护运行
全磁悬浮力轴承技术可防止转子与外壳之间的接触。此外，在停电时，转子本身可以充当发电机，直到机械紧急轴承使其缓慢而温和地停止。这样可以防止磨损，因此您可以享受免维护操作。
安全
我们的全带磁悬浮力轴承的免维护涡轮分子泵仅安装高质量应急轴承，确保安全运行。由于其 IP54 安全等级，即使在最恶劣的环境条件下使用也没有问题。根据 ISO 27892 进行的产品测试还证明我们所有的泵都满足最高的安全要求。

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