磁悬浮涡轮分子泵
紧凑的设计、低能耗和高抽速 - 普发真空的磁力轴承涡轮分子泵是您可以信赖的高品质、无故障的产品，可实现最佳高性能。
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磁悬浮涡轮分子泵剖面图
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小册子: TH 2804 M 和 ATH 3204 M
磁悬浮力轴承及其在真空生产中的优势
我们配备 5 轴磁力轴承的涡轮分子泵可为您提供最大压缩比力 和气体吞吐量以及高最佳抽速和最小振动。这使得它们成为分析、研究和开发应用以及镀膜涂层和半导体生产领域的反应过程的出色的完美解决方案。
此外，带全磁悬浮磁力轴承的涡轮分子泵还具有以下优势：
清洁真空应用
非接触式磁力轴承系统无需润滑剂或磨损即可运行。这意味着您可以在关键真空应用中使用磁力轴承涡轮分子泵而无需担心。
可靠的技术
ATH M 和 ATP M 系列的主动 5 轴磁悬浮轴承可监控转子位置并实时平衡与目标位置的任何偏差。这种高质量的轴承技术提供了最佳的长期稳定性、可靠性和极其安静的运行——非常适合半导体生产、镀膜涂层和干蚀刻等离子工艺，以及许多工业和研发应用。
免维护运行
全磁悬浮力轴承技术可防止转子与外壳之间的接触。此外，在停电时，转子本身可以充当发电机，直到机械紧急轴承使其缓慢而温和地停止。这样可以防止磨损，因此您可以享受免维护操作。
安全
我们的全带磁悬浮力轴承的免维护涡轮分子泵仅安装高质量应急轴承，确保安全运行。由于其 IP54 安全等级，即使在最恶劣的环境条件下使用也没有问题。根据 ISO 27892 进行的产品测试还证明我们所有的泵都满足最高的安全要求。
