ALE

普发真空提供全系列的涡轮泵和初级干式泵，以应对相关挑战。我们的磁悬浮涡轮泵可提供无振动的高真空和高温/高流量运行。以可任选的抗腐蚀性能为特色，我们的 ATH M 系列能够与最先进的 ALE 工艺完全匹配。

我们的 A3XN 或 A4XN 干式泵采用先进材料抵抗腐蚀，并具备先进热管理技术防止沉积，从而确保长久使用寿命及低运营成本

它是如何工作的？

ALD、ALE 的工艺周期由依次向反应器内注入反应性气体和电离态惰性气体组成，通常经等离子体激发。

在每个脉冲之间注入氮气吹扫，以排出反应物以及前体吸附在表面上而形成的副产物。由于反应本质上是自限的，因此蚀刻厚度仅取决于所执行的循环数，从而可以在原子尺度上控制蚀刻层。ALE 工艺通常在单片晶圆设备上进行。

真空要求

对于常规等离子体蚀刻工艺，根据待蚀刻的材料选用氯基和氟基化学物质。新兴的 ALE 工艺还可能包括旨在改善蚀刻截面轮廓调控的沉积工序。这种新趋势涉及到使用通常出现在 ALD 或 CVD 应用中的硅前体。ALE 工艺流程在低压下进行，压力范围为 10-2 至 10-3 mbar。为了保持较低的真空度，涡轮泵直接安装在腔室反应器上，并由安装在地下室中的初级干泵提供支持。随着气体流量的不断增大，最新一代反应堆所需的涡轮泵抽气能力为 1,600 至 4,000 l/sec。干式泵通常需要 600 至 1,200 m3/h 的抽速。

待排出的副产物具有冷凝性和高度腐蚀性。 对于真空泵来说，这是一项严苛的挑战，因为它们需要能够在高度腐蚀性环境及高温下运行。