灌瓶

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当今时代,对技术气体的需求与日俱增。除了氮气或氩气等一般工业气体外,各种高纯度气体也愈加重要。高纯度气体可用于诸多应用,例如激光、离子注入,硅的等离子刻蚀、泄漏检测、血气分析等。而获得高纯度气体,需要借助真空。

应用要求

  • 高密闭性

  • 快速抽空

  • 洁净的真空以及适用于爆炸性或腐蚀性气体的特殊版本

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聚变反应堆中的真空 - 托卡马克和仿星器反应堆原理

它是如何工作的?

气体中心接收到液态气体,然后将这些气体在冷凝状态下灌装到较小的气瓶内,此过程由灌装机执行。每台灌装机均配有真空泵,用于在灌装气体之前将瓶子抽空。取决于要求的气体纯度,真空度各不相同。一般而言:气体纯度越高,最终压力就须越低。通常的压力范围包括粗真空范围和中真空范围。抽空工艺的一项问题在于,气瓶需要通过位于瓶子顶部的小型毛细管来抽空。此处很小的流导值可对抽空时间造成重大影响,在需要达到低压力以获取高纯度气体的情况下,必须特别考虑。

产品组合

发真空可以提供各种用于灌瓶的泵。在大多数情况下,不是使用多级罗茨泵,就是使用旋片泵。根据气体类型的不同,我们的产品范围除了标准型泵,还包括轻气体、腐蚀性气体和 ATEX 版本泵。除此之外,我们还可提供压力表、用于残留气体分析的质谱仪系统、检漏仪以及阀门和各种真空零部件。