晶体硅电池

没有真空,就不可能有可再生能源。一个例子是光伏 (PV),这是一种广为人知的方法,即利用太阳能电池、通过光伏效应,将来自太阳的能量转换为电子流,从而产生电能。

应用要求

  • 维护间隔长、正常运行时间长

  • 无碳真空

  • 现场维护极为简便

  • 高抽速、快速抽空

它是如何工作的?

太阳能电池技术有多种类型——其中主要技术是基于晶体硅晶圆。此类太阳能电池具有所有技术类型中相对高的效率。各主要层基于硅氮化物,但又搭配有各种不同的功能层,以进一步优化电池效率。该市场当前的趋势是优化电池背面的反射层,以增加电池内部的吸收率(钝化发射极背面接触 - PERC)。PERC 层可通过使用 PECVD 或 ALD 工艺进行额外的膜沉积来制造。

像异质结太阳能电池这样的新技术,结合了多种太阳能技术的优势,例如更少的薄膜沉积材料消耗,以及晶体硅电池的高效率。将太阳能晶圆装入真空室,从而进行数道 PVD 和 PECVD 工艺,以生成多层太阳能电池。取决于不同工艺,为了沉积这些层,需要10-3 至 10-5 hPa范围内的真空。由于表面积较大,高抽速是必不可少的。真空需要洁净无碳,以确保高品质涂层。

产品组合

普发真空拥有适用于您系统的整套产品组合,并有专家团队针对您的应用找出正确解决方案。我们提供各种高抽速的干泵和油润滑泵以及泵系统。我们的混合轴承或全磁悬浮涡轮泵则可确保低本底压力。为了保证工艺稳定性和安全性,我们的真空计和检漏仪将是正确的选择。