晶体硅电池

它是如何工作的？

太阳能电池技术有多种类型——其中主要技术是基于晶体硅晶圆。此类太阳能电池具有所有技术类型中相对高的效率。各主要层基于硅氮化物，但又搭配有各种不同的功能层，以进一步优化电池效率。该市场当前的趋势是优化电池背面的反射层，以增加电池内部的吸收率（钝化发射极背面接触 - PERC）。PERC 层可通过使用 PECVD 或 ALD 工艺进行额外的膜沉积来制造。

像异质结太阳能电池这样的新技术，结合了多种太阳能技术的优势，例如更少的薄膜沉积材料消耗，以及晶体硅电池的高效率。将太阳能晶圆装入真空室，从而进行数道 PVD 和 PECVD 工艺，以生成多层太阳能电池。取决于不同工艺，为了沉积这些层，需要10-3 至 10-5 hPa范围内的真空。由于表面积较大，高抽速是必不可少的。真空需要洁净无碳，以确保高品质涂层。