ATH 1603 M, DN 200 CF-F, 외부 드라이브 전자 장치, 수냉식, 비가열형

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N₂ 펌핑 속도가 최대 1,360 l/s이고 Holweck 단계가 있는 5축 자기 부상식 터보 펌프
까다로운 UHV 용도를 위한 DN 200 CF-F 플랜지
외부 Magpower 전자 드라이브 유닛으로 작동
모든 방향에서 설치
수냉식, 비가열형
CE 마크 및 ROHS 적합

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