터보 펌프

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HiPace 2300
HiPace® 2300, TC 1200 포함, DN 250 CF-F
PM P06 302
HiPace 2300
HiPace® 2300, TC 1200 포함, DN 250 ISO-F
PM P06 301
HiPace 2300
HiPace® 2300, TC 1200 포함, DN 250 ISO-K
PM P06 300
HiPace 2800
HiPace® 2800 IT(TC 1200 포함), DN 250 ISO-F
이온 주입 시스템에 적합, 경질 가스용 펌핑 속도에 최적화, 니켈 도금 로터가 사용되는 도펀트에 대한 저항력을 보장, 지능형 온도 관리 시스템이 공정 응축물 및 퇴적물을 감소, Semi S2 인증 및 UL/CSA 인증
PM P05 241
HiPace 300
HiPace® 300, TC 110 포함, DN 100 CF-F
N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
PM P03 991 C
HiPace 300
HiPace® 300, TC 110 포함, DN 100 ISO-F
N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, 분석 및 산업 응용분야에 이상적임, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
PM P03 992 C
HiPace 300
HiPace® 300, TC 110 포함, DN 100 ISO-K
N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, TC 110 통합형 전자 드라이브 유닛, 분석 및 산업 응용분야에 이상적임, 모든 방향에서 설치, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
PM P03 990 C
HiPace 300
HiPace® 300, TC 400 포함, DN 100 CF-F
N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 통합형 드라이브 전자장치 TC 400, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음, 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함, 빠른 사이클에 적합, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
PM P03 901 C
HiPace 300
HiPace® 300, TC 400 포함, DN 100 CF-F
N2 펌핑 속도가 최대 260 l/s인 견고한 고성능 터보 펌프, 통합형 드라이브 전자장치 TC 400, UHV 응용 분야에 적합, 모든 방향에서 설치, 최대 가스량을 위한 통합형 수냉식 냉각장치 있음, 최대 4개의 액세서리 부품 사용으로 유연함, 빠른 사이클에 적합, 광범위한 액세서리로 사용 범위가 넓습니다
PM P03 904 C

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